【团队简介】
团队合影
射频等离子体物理团队（Plasma Simulation and Experiment Group, PSEG）始建于2001年，依托大连理工大学物理学院和三束材料改性教育部重点实验室，长期致力于低温射频等离子体源的物理机理及相关应用的研究工作，并面向半导体芯片制造工艺中的等离子体装备，开展等离子体工艺腔室的多物理场仿真及先进等离子体设备的研发。团队现有教师16人，其中教授8人，副教授3人，工程师1人，博士后4人。团队负责人王友年教授为教育部第四批长江学者特聘教授，曾任国务院学科评议组成员、中国力学学会等离子体专业委员会主任、国家自然科学基金委数理学部学科评议组成员。团队现有研究生100余人，其中硕士研究生约50人，博士研究生约50人。
导师照片
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王友年长江学者 特聘教授、博导 | 高飞教授 博导、集成电路学院党委书记 | 宋远红教授 博导 |
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温德奇教授 博导、海外优青 | 张权治教授 博导、优青 | 胡章虎副教授 博导 |
团队面向芯片、光伏、平板显示制造中刻蚀工艺、PECVD工艺等国家重大需求，开展射频等离子体源理论分析、物理建模和实验诊断及应用技术研究。
（1）等离子体装备及工艺的数值仿真技术；
（2）等离子体工艺的在线实验诊断技术；
（3）射频及脉冲调制射频等离子体放电机理的研究；
（4）等离子体腐蚀材料机理及工艺；
（5）等离子体刻蚀机理和薄膜生长机理的研究；
（6）大功率射频负氢离子源的物理基础研究；
PSEG团队经过近20年的努力，研发出首款具有中国自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真软件MAPS，突破发达国家的技术封锁，为我国相关企业提供等离子体工艺腔室设计与优化的仿真服务！此外，团队在Phys. Rev. Lett.、Plasma Source Sci. Technol. 等期刊上发表论文200多篇；获得国内发明专利20余项、国际发明专利授权5项（美国），软件著作权15项；获得教育部自然科学二等奖（2021）、辽宁省自然科学二等奖（2023）、大连市科学技术进步一等奖（2021）。
【科研展示】
1. 仿真模拟平台
2. 实验平台
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小尺寸CCP源 | 大直径CCP源 |
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八面体容性源 | 脉冲调制ICP源 |
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容性/感性混合型 | 超大直径CCP源 |
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磁化容性源 | 平面ICP源 |
完善的诊断系统
3. 团队主要承担项目/成果
近五年，团队负责200万以上的研究项目15项，包括国家重点研发计划课题2项，国家自然科学基金重点项目等4项，完成成果转化2项，与新奥、华为、新凯来、迈为等公司合作研发项目7项，累计科研项目经费超过7500万元，成果转化超过1000万元。
前瞻性研究1：首次实验发现“辉光条纹” 现象。
前瞻性研究2：首次实验观察到CCP中非线性驻波效应。
前瞻性研究3：首次提出在非对称容性放电回路系统中存在“磁化串联共振”现象。
【培养特色】
团队宗旨是面向科学前沿，面向国家重大需求，培养一流人才。具体内容包括：
（1）在射频等离子体物理的前沿基础研究方面，取得创新成果，发表高水平的研究论文；
（2）面向国家在半导体芯片产业的重点需求，开展等离子体工艺腔室的数值仿真及实验诊断技术研究，为国家相关半导体装备制造企业和芯片制造企业提供技术支撑；
（3）培养优秀的硕士和博士研究生，为相关企业输送一流的人才。
目前团队与多个国内外课题组和研究机构保持良好互动与合作。
比利时安特卫普大学 Annemie Bogaerts 教授小组；
美国伯克利大学 M.A. Lieberman 教授团队
美国休斯顿大学 D.J. Economou 教授团队
美国普林斯顿大学 I.D. Kaganovich 教授团队
德国鲁尔大学 Julian Schulze 教授小组
日本东京电子(TEL)
【育人成果】
| 韩道满博士 博士期间曾赴美国普林斯顿大学等离子体物理实验室公派学习，研究生期间共发表一作SCI收录论文3篇，国内专利1项(授权)，国际专利2项(审查中) 曾获国家奖学金(2次)、英特尔奖学金、校优秀研究生干部标兵、大连市三好学生等校级及以上荣誉20余项，现在中国航天科技集团第五研究院工作 |
| 王丽博士 目前在德国波鸿鲁尔大学交流学习，已发表PSST（Q1）等一作SCI收录论文4篇 曾多次获得国际学术会议最佳墙报奖以及第72届气体电子国际会议学生旅行资助奖 曾担任第73届气体电子国际会议分会场主席，并作邀请报告 曾担任第7届微电子与等离子体技术国际会议分会场主席，并作邀请报告 |
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【招生事项】
硕士推免生（学术学位）/硕士统考生（学术学位）/直博生（学术学位）/硕博连读（学术学位）/申请考核制博士生（学术学位）
硕士生导师：高飞教授、宋远红教授、刘永新教授、张钰如教授、温德奇教授、张权治教授、胡章虎副教授、赵凯副教授、孙景毓副教授
博士生导师：高飞教授、宋远红教授、刘永新教授、张钰如教授、温德奇教授、张权治教授、胡章虎副教授、赵凯副教授、孙景毓副教授
低气压射频等离子体模拟
等离子体工艺腔室建模与仿真
低气压射频等离子体实验与诊断
低温等离子体物理及应用研究
复杂等离子物理
材料等离子体腐蚀表征
离子束与物质相互作用及材料辐照损伤
大气压放电等离子体物理
粒子束及电磁波与物质相互作用
高能量密度等离子体物理
物理学（研究方向：等离子体物理）
高飞，fgao@dlut.edu.cn
