【简介】
大连理工大学张权治专注于等离子体放电的基础理论与应用研究，建立了较为完善的低温等离子体放电模型体系，涵盖射频等离子体产生机制、动理学过程、芯片刻蚀、磁控溅射、离子束镀膜、磁约束聚变装置加热技术等核心问题研究。现有7名博士生和7名硕士生，注重学科交叉与工程实践能力培养。
张权治教授为国际知名等离子体领域系列在线论坛International Online Plasma Seminar (IOPS) 委员会联合主席，曾担任低温等离子体领域老牌权威国际会议(GEC) 执行委员会委员，曾获得欧盟地平线2020‘玛丽居里学者’，德国DFG‘墨卡托学者’等国际荣誉称号。曾获辽宁省自然科学二等奖（排名1）、教育部自然科学二等奖（排名2）、大连市科技进步一等奖（排名3）。此外，长期与国外开展相关研究的课题组保持着紧密联系，如比利时University of Antwerp 大学的Annemie Bogaerts(欧洲科学院院士)团队、德国Ruhr-Universität Bochum大学的Julian Schulze (Plasma Sources Science and Technology 编委)团队、乌兹别克斯坦科学院、TIIAME国立研究大学、乌尔根奇州立大学等；合作形式主要表现在合作研究科学难点、共同发表学术论文。
研究方向：
1、面向半导体芯片制造工艺的射频等离子体物理与技术：容性、感性耦合放电物理机制、超低温等离子体刻蚀、磁控溅射、离子束镀膜与先进的PIC/MCC模型开发；
2、磁约束聚变装置加热技术（NBI与ICRF）：高能离子束中性化过程，离子回旋共振加热技术射频天线边界物理问题研究
3、大气压等离子体流注传播机制、电介质阻挡放电（DBD）物理与应用研究
【科研展示】
张权治先后承担了国家重点研发计划青年科学家项目、国自然优秀青年项目，国自然重点项目课题等研究任务，国内龙头半导体企业（长江存储、盛美、中微等）横向项目等累积1200余万科研经费。累计发表学术论文80余篇，其中第一/通讯作者论文40余篇。
所获代表性奖项：
1. 张权治等，射频容性耦合等离子体的粒子模拟方法与电子加热机制，辽宁省科学技术奖，2023年（排名1）
2. 刘永新，张权治等，射频等离子体放电机理和离子能量调控，教育部自然科学二等奖， 2021年 （排名2）
专利与软件著作权：
1. 张权治等; 一种在射频磁化容性耦合放电装置中增强放电的方法, 2023-01-31, 中国, ZL202111104982.5 (专利)
2. 张权治等; 一种边缘等离子体分布调节装置，2022-12-09，中国, ZL202111186541.4 (专利)
3. 张权治等; 基于GPU加速的二维等离子粒子模型模拟软件, 2023SR0243892, 原始取得, 全部权利, 2022-12-15 (软件著作权)
4. 张权治等; 二维隐格式静电型容性耦合等离子体蒙卡模拟软件, 2013SR118553, 原始取得, 全部权利, 2012-05-31 (软件著作权)
为在读硕博生们提供优质的科研环境，包括高性能计算资源、宽敞舒适的工作环境等。
高性能计算资源
学生教研室
【培养特色】
始终坚持“因材施教、国际化培养、理论与实践相结合”的育人理念，不仅注重学生专业知识的积累与科研能力的提升，更强调科研规范、责任意识与独立思考能力的塑造。鼓励学生从“完成任务”走向“提出问题”，通过实际科研项目训练、国际交流合作等多维度培养，逐步引导学生掌握科学研究的基本方法，形成批判性思维和创新性思维能力。
在张权治教授的精心指导与成员的共同努力下，学生在学术研究、论文发表、国际交流等方面取得了优异成绩，实现因材施教，制定个性化成长路径，鼓励探索与试错。鼓励研究生积极参加国内外学术会议并作口头报告、与国内外领先的研究团队开展学术交流、联合培养等，致力于培养具有国际视野、创新精神与团队合作能力的科研人才。
【育人成果】
现有在读博士研究生 7名，硕士研究生7名，学术氛围浓厚。目前已累计培养毕业研究生5名，进入国内外知名高校、科研院所和北方华创、长江存储等高科技企业。
在读博士研究生：
在读硕士研究生：
【招生事项】
招生类型
硕士推免生（学术学位/专业学位）/硕士统考生（学术学位/专业学位）/直博生（学术学位/专业学位）/硕博连读（学术学位/专业学位）/申请考核制博士生（学术学位/专业学位）
招生导师
张权治 （硕导、博导）
招生科研方向
面向芯片制造的等离子体工艺技术（磁控溅射、超低温刻蚀、蒸镀、离子束引出与镀膜）
等离子体工艺腔室建模与仿真
低气压射频等离子体模拟 (容性耦合、感性耦合)
大气压放电等离子体物理（电介质阻挡放电DBD）
磁约束聚变装置加热技术：中性束注入(NBI)和离子回旋共振加热（ICRH）
招生专业
硕士：凝聚态物理 博士：物理学
联系方式
qzzhang@dlut.edu.cn
